MAF-Sensoren (Mass Air Flow Sensors - Luftmassesensoren)

Der MAF-Sensor LMM-H03 eignet sich für Anwendungen mit hohen Zuverlässigkeitsanforderungen, wie z. B. medizinische oder industrielle Gasdurchflussanwendungen.  Der LMM-H03 wird direkt in dem strömenden Medium installiert und reagiert auf Wärmeübertragung im Mikrometer-bereich. Diese Wärmeübertragung wird durch eine mikro­mechanisch hergestellte Siliziumvorrichtung erfasst, die auf Keramiksubstrat angebracht ist und die Geometrie des Sensorelements definiert. Der LMM-H03 arbeitet nach dem Prinzip eines Heißfilm-Anemometers, der Dünnschichtversion des Hitzdraht-Anemometers. Ein Dünnschicht-Heizelement wird auf eine definierte Temperaturdifferenz bezogen auf die Luft erwärmt. Bei Nulldurchfluss findet aufgrund der Wärmeleitfähigkeit der Luft eine Wärmeableitung statt. Sowie Durchfluss gegeben ist und die Durchflussrate steigt, wird die Wärmeableitung höher. Das Sensorelement kann in einem Modus mit konstantem Strom oder konstanter Spannung betrieben werden. Empfohlen wird der Betrieb des LMM-H03 jedoch in dem erwähnten Modus mit konstanter Temperaturdifferenz. In diesem Modus erfasst die Elektronik jede Änderung des thermischen Gleichgewichts sehr schnell und kompensiert sie durch entsprechendes Bestromen der Heizelemente. Dies ermöglicht eine sehr zuverlässige Massenstrommessung mit einer sehr kurzen Zeitkonstante in der Größenordnung von Millisekunden.