マスエアフローセンサ

LMM-H03 空気流量センサは、高い信頼性が要求される、医療分野や産業分野における気体流量の測定用途に特化されています。 流動媒体の中に直接取り付けられた LMM-H03 は、精密に熱伝達を検知します。この熱伝達の状況は、微細加工が施され、センシング素子の形状を規定しているセラミック基板上に配置された、シリコン デバイスによって検知されます。LMM-H03 の機能原理は、熱線流速計の薄膜バージョンである熱膜流速計によるものです。薄膜型の加熱素子 (ヒーター) が、空気に対して所定の温度差になるまで加熱されます。流量ゼロでは、空気の熱伝導率によって熱損失が生じます。流れが加えられると、流速に対して一定の割合で熱損失が増大します。センシング素子は定電流および定電圧モードでの動作にも対応していますが、LMM-H03 はこの定温度差 (CTD: Constant Temperature Difference) モードでご使用になることを推奨します。CTD モードでは、電子部品が熱平衡の変化を迅速に検知して、ヒーターによって電力設定を調整する形で補償を行います。これによって、ミリ秒オーダーというごく短い時定数で、きわめて信頼性の高い流量測定が可能になります。